所属实验室：[测控与精密仪器实验室]     设备负责人：李平华     房间号：机械交通实验楼118

设备名称：

    镀膜机

型号：

    DM-450A

主要功能：

    1、广泛应用于工具、刀具、模具、零部件、医疗器械、等行业。可镀制AlTiN、TiAlN、AlTiXN、AlCrN、AlCrXN、TiSiN、CrN、TiN等氮化物涂层，Ta-c、类石墨、Cr+a-c、Cr+a-c:H、W+a-c、W+a-c:H等碳基，Cr+a-c:H、CrN+a-c:H等涂层；

    2、需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

实验项目：

    金属薄膜制备实验